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日本techvision光掩膜清洗裝置用于半導(dǎo)體等

日本techvision光掩膜清洗裝置用于半導(dǎo)體等 TWC-302

光掩模的清潔化是提高產(chǎn)品成品率的必要條件!

  • 產(chǎn)品型號(hào):TWC-302
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-11
  • 訪  問  量:374
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詳細(xì)介紹

日本techvision光掩膜清洗裝置用于半導(dǎo)體等 TWC-302 特點(diǎn)介紹


光掩模的清潔化是提高產(chǎn)品成品率的必要條件!

本發(fā)明公開了一種光掩模,該光掩模是通過(guò)在玻璃等上形成用于半導(dǎo)體制造工藝的圖案而獲得的,

該光掩模的表面上附著有細(xì)小的灰塵等,該光掩模是通過(guò)在玻璃等上形成用于半導(dǎo)體制造工藝的圖案而獲得的。

需要優(yōu)良的清潔技術(shù),因?yàn)檎掣降幕覊m和污物影響圖案轉(zhuǎn)移,并在很大程度上影響產(chǎn)量。本裝置是藥液兼用的掩模清洗裝置。

附著在掩模上的抗蝕劑分為通常工藝附著的輕度污染、測(cè)試用途和長(zhǎng)時(shí)間未清洗保管的使用履歷不清楚的掩模等所看到的頑固污染兩種。

通過(guò)使用適合污染程度的藥液,可以節(jié)約時(shí)間、勞力、經(jīng)費(fèi),提高清洗效率。


日本techvision光掩膜清洗裝置用于半導(dǎo)體等 TWC-302 規(guī)格參數(shù)


1用一臺(tái)設(shè)備快速完成工件的擦洗,漂洗和干燥。 

2用擦洗清洗專用刷子,不劃傷工件,可以進(jìn)行精密清洗,沒有清洗不均勻。 

3因?yàn)槭橇⑹教幚恚栽O(shè)計(jì)時(shí)不會(huì)給工件帶來(lái)壓力。 

4小批量,多品種,適用于研發(fā)應(yīng)用的基板清洗。 

5干燥,熱純水干燥。 

用途

光掩模:半導(dǎo)體,液晶,有機(jī)EL,彩色濾光片,薄膜器件,IC封裝,PWB,PCB,F(xiàn)PC等,板狀基板等可清洗。


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