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日本進(jìn)口YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備高純度氣體用調(diào)節(jié)器L20系列

更新時(shí)間:2024-05-07      瀏覽次數(shù):445

日本進(jìn)口YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備高純度氣體用調(diào)節(jié)器L20系列


L20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量~60NL/分鐘

入口壓力 14.8MPa以下(最大19.6MPa) 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa

(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa) 

氣源壓力波動(dòng) 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.00021MPa 

承受壓力 22.2MPa(進(jìn)口側(cè)) 

CV值 0.09 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內(nèi)部容積 4.67cm(不含3個(gè)壓力表及接頭) 


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