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日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺檢測設(shè)備高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 這是盒式到盒式自動(dòng)晶圓邊緣檢查機(jī)。每張檢查時(shí)間為 10 秒，節(jié)拍時(shí)間為 30 秒，實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。機(jī)器人從25片晶圓存儲(chǔ)盒中一張一張取出晶圓，進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、檢查，然后將其存儲(chǔ)在晶圓盒中。易于操作。 可以自動(dòng)檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。 我們?cè)诿繌?30 秒內(nèi)（包括運(yùn)輸時(shí)間）進(jìn)行高速檢查。

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