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日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器低壓閥流量計

日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器低壓閥流量計 TANAKA日酸 TORR-50-3W-5010-6UF6UF

●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

  • 產(chǎn)品型號:TORR-50-3W-5010-6UF6UF
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:208
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詳細介紹

日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器低壓閥流量計 TANAKA日酸 TORR-50-3W-5010-6UF6UF 特點介紹


●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●在一次室的流路內置過濾器,減少了內部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●還可制作電解研磨規(guī)格品。(接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25μm)

●TORR-50系列作為一次低壓用中流量機種,可用于液化氣體的一次減壓、需要流量的配管中使用的調整器等用途。


日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器低壓閥流量計 TANAKA日酸 TORR-50-3W-5010-6UF6UF 規(guī)格參數(shù)


●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316LSU S316SUS316LSUS316(螺紋連接)SUS316L(焊接連接)SUS318L、SUS316、氟樹脂C3604ABS樹脂、C3604

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:出入口口徑:外部泄漏量:3.5MPa1.0MPa740L/min(或()P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2氣體)-5~40°C1.6kg20μm3/8"1.3×10-8Pa m3/sec以下(螺紋連接)1.3x 10-9Pa m3/sec以下(焊接連接)

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