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日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調(diào)整器

日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調(diào)整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH

●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。
●通過(guò)排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu),標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨,實(shí)現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

  • 產(chǎn)品型號(hào):S-TORRⅤ2300SH/AH
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-09
  • 訪  問(wèn)  量:245
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詳細(xì)介紹

日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調(diào)整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 特點(diǎn)介紹


●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

●通過(guò)排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu),標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨,實(shí)現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接,隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性,即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內(nèi)置過(guò)濾器,減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測(cè)試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

●STV2300SH系列被稱為重要部件的腐蝕性氣體影響特別大的部件,STV2300AH系列在調(diào)整器主體的接觸氣體金屬部分全部采用耐腐蝕性高的Ni-Cr-Mo合金。


日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調(diào)整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 規(guī)格參數(shù)


●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:過(guò)濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS3 16L(2300SH系列)Ni-Cr-Mo合金(2300AH系列)Ni-Cr-Mo合金Ni-Cr-Mo合金SUS3 16LSUS316L(2300SH系列)Ni-Cr-Mo合金(2300AH系列)Ni-Cr-Mo合金、SUS316 L、氟樹脂(2300SH系列)Ni-Cr-Mo合金、氟樹脂(2300AH系列)C3604ABS樹脂、C36 04

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