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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  過程控制儀器  /  壓力控制器  /  SR-2HH/SRQ-1HH日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用

日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用

日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 SR-2HH/SRQ-1HH

高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。
SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。
即使進行抽真空,氣體也不會從入口側(cè)(一次側(cè))流動。

  • 產(chǎn)品型號:SR-2HH/SRQ-1HH
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:214
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詳細介紹

日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 SR-2HH/SRQ-1HH 特點介紹


高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。

SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。

即使進行抽真空,氣體也不會從入口側(cè)(一次側(cè))流動。

可作為經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)大臣認證品生產(chǎn)。在高壓氣體設(shè)備中使用時,請選擇合格品。

也可制作流動方向體、左側(cè)入口(左高壓)型。


日本e-yamato高純氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 SR-2HH/SRQ-1HH 規(guī)格參數(shù)


SR-2HH

SRQ-1HH

一次側(cè)壓力(MPa)

2~20

4~20

二次側(cè)使用壓力(MPa)

1~15

3~15

使用溫度(度C)

-10~40(股計溫度:-10~7攝氏度)

3/8

1/4

外部記錄量(Pam2/sec)

螺紋接頭:1.01x10-以下焊接頭:1.02x10-以下

接氣主

本體

SUS316

SUS316L

要部材質(zhì)

材貿(mào)記號

隔膜

SUS316

哈斯特洛伊

脫身

弁材

PEEK

PEEK

476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

SUS316L.SUS316.PTFE

過濾器粗糙度

40μm

40μm

質(zhì)

(km)

4.3

1.3

標(biāo)準(zhǔn)流量

2/mininorNe)

1200(P=20MPa,P2=15MPa)。

160(P=15MPa,Pe=12MPa)

最大流量

/min(ar.N)

1600(P1=20MPa,Pz=15MPa)。

200(P=15MPa,Pz=12MPa)。


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