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日本YUTAKA低壓大流量型壓力控制器L36系列

日本YUTAKA低壓大流量型壓力控制器L36系列 L36SS/L36SH

L36系列是用于半導體工藝制造氣體的低壓型產品,設計緊湊但能夠提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能,使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。

  • 產品型號:L36SS/L36SH
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:198
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詳細介紹

日本YUTAKA低壓大流量型壓力控制器L36系列 L36SS/L36SH 特點介紹

 

L36系列是用于半導體工藝制造氣體的低壓型產品,設計緊湊但能夠提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能,使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。

功能低壓1MPa以下

焊接規(guī)格金屬墊片管件調節(jié)閥結構針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標準流量100~500NL/分鐘


日本YUTAKA低壓大流量型壓力控制器L36系列 L36SS/L36SH 規(guī)格參數(shù)


入口壓力 2MPa以下 

調節(jié)壓力 Max.0.99MPa(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa) 

氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調節(jié)壓力變化量0.0075MPa 

承受壓力 6MPa(入口側) 

CV值 1.1 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/sec·He(真空法) 

大量的 約2公斤 

3/8"、1/2" 面密封接頭尺寸

(公母相同)…………………………約 132mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4″ 外螺紋面密封接頭。

 ■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內螺紋)組合如圖所示。您可以從下面所示的產品編號代碼表中進行選擇。


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