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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列

日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I

L62系列是專為高壓、大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體設(shè)計的產(chǎn)品,其基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭,具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。該產(chǎn)品增加了流量,是氣瓶柜的理想選擇。
我們的L61系列的針結(jié)構(gòu)類型(面對面尺寸相同)。
可根據(jù)使用氣體選擇閥座材料。

  • 產(chǎn)品型號:L62SS/L62SH
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:167
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聯(lián)系電話:13823182047

詳細介紹

日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 特點介紹


L62系列是專為高壓、大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體設(shè)計的產(chǎn)品,其基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭,具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。該產(chǎn)品增加了流量,是氣瓶柜的理想選擇。

我們的L61系列的針結(jié)構(gòu)類型(面對面尺寸相同)。

可根據(jù)使用氣體選擇閥座材料。


日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 規(guī)格參數(shù)


適用氣體 高純氣體 

入口壓力 14.8MPa以下(最大19.6MPa) 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.8MPa

(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa) 

氣源壓力波動 進口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化0.001MPa以下 

承受壓力 22.2MPa(進口壓力) 

CV值 0.11 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內(nèi)部容積 32.3cm(不含3個壓力表及接頭) 

大量的 約4.7公斤 


■ 類型:L62 SS-CO 是專門針對一氧化碳(CO)氣體而選擇的材料。

請不要與其他氣體一起使用。

■ 類型:L62 SS-I 是使用氦氣 (He) 或氫氣 (H2) 時的理想選擇。


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